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高真空阀门：

真空阀门的基本特点是具有较高的气密封（密封可靠）；对气流的阻力尽量小（即阀门的流导尽可能大）

密封部件耐磨性好，能反复使用、寿命长；阀体材料及密封件放气量小；操作灵活，容易清洗安装，性能可靠、

维修方便。此外，对于超高真空阀门还要求能耐高温烘烤（450℃）；对节流阀要求能均匀调节气体流量。”