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BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

供应商：
武汉泰和丰顺光电有限公司
企业类型：
其他

产品简介

BCG450 大气压至超高真空三合一真空计 INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型电容式膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量 5×10-10到 1500 毫巴（3.75×10-10到 1125 托）的过程压力和基准压力的工具包里。 BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器（热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的工具空间。

详细信息

益处

  • BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性
  • 10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
  • 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
  • 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
  • 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

规格

类型 BCG450
测量范围 5×10-10 … 1500
精度  
10-8 … 50 毫巴 % of reading ±15
50 … 950 毫巴 % of reading ±5
950 … 1050 毫巴 % of reading ±2.5
可重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
热离子发射 mbar 2×10-2 (high)
（可选高/低，通过 RS232 / 现场总线） mbar 8×10-3 (low)
除气 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压力， bar (absolute) 5
温度  
运行（环境） °C 0 … +50
贮存 °C -20 … +70
在法兰处烘烤 °C 80
移除烘烤电子设备 °C 150
电源电压 20 … 28
输出信号模拟  
输出信号 V 0 … 10.3
测量范围输出 V 0.774 … 10.3
电压与压强之间的关系 volts per decade 0.75
错误信号 V 0.3 / 0.5
最小负载 kΩ 10
接口（数字）(2) RS232C
连接器 D-Sub, 15-pin, male
电缆长度， (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保护等级 IP30
DeviceNet™  
协议 DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模 up to 64 nodes per segment
数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型 ''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯 polling only
设定点继电器： 设定点数量
BCG450 大气压至超高真空三合一真空计