BPG400 大气压至超高真空真空计
产品简介
详细信息
益处
- 测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
- 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
- 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
- 使用寿命长的氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- RoHS 合规
- 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | BPG400 | |
|---|---|---|
| 测量范围（空气、O2、CO、N2） | 5×10-10 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 可重复性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除气 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 压力， | bar (absolute) | 2 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤，有延伸件 | °C | 150 |
| 在法兰处烘烤，无延伸件 | °C | 80 |
| 移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
| 电源电压 | +20 … +28 | |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … +10 |
| 测量范围 | V | +0.774 … +10 |
| 电压与压强 | volts per decade | 0.75 |
| 错误信号 | V | 0.3 / 0.5 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10 |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
| 保护等级 | IP30 | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | 60 | |
| Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
BPG400 大气压至超高真空真空计