ZPT-X大型隔振光学平台
产品简介
详细信息
ZPT-X大型隔振光学平台
产品特点：
■大型隔振光学平台基础根据用户要求实验面积较大的使用情况研制开发的产品，其保持了原气浮隔振光学平台的优点，在重载荷下具有抗系统干扰的能力。
■气动元器件均采用德国FESTO产品，标配进口无油压缩机。
■该产品适用于对隔振要求较高，平台工作台面大，载荷要求高的环境。
技术指标：
■平面度：< 0.05mm/m2
■表面粗糙度：<0.8μm
■固有频率：1.2Hz～2.0Hz
■表面粗糙度：<0.8μm
■固有频率：1.2Hz～2.0Hz
■减振效率：x方向＜5Hz时：86%～92% y方向＜5Hz时：84%～90%
■重复定位精度：±0.05mm
x方向＜10Hz时：90%～96% y方向＜10Hz时：88%～93%
■振幅：< 1.2μm■重复定位精度：±0.05mm
接受客户任意规格定制生产