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罗茨真空泵也叫真空型罗茨鼓风机，同属于容积式风机。罗茨真空泵和罗茨鼓风机原理基本相同，也是由两个相同的三叶型叶轮相互转动啮合产生气体。在叶轮与叶轮、叶轮与机壳、叶轮与墙板之间的间隙极小，从而使进气口形成了真空状态。其负压可根据用户的要求在允许的范围内加以调节，在机壳内部设置有两组互朝相反方向回转的叶轮，在叶轮与叶轮，及叶轮与壳体间仅留极小缝隙的状态下回转。当叶轮经过吸入端时，与壳体之间捕捉一定量的空气，随叶轮的旋转，空气侧移，从出口端排出。在运转过程中，吸入端管路的负压会慢慢升高，直至要求值。