小型离子溅射仪
产品简介
详细信息
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。
Ø 玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm
Ø 试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯
Ø 金靶尺寸：Φ58mm
Ø 真空系统：直联旋片真空泵2L/S
Ø 真空检测：皮氏计
Ø 真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空
Ø 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节