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VT6100 共聚焦显微镜3D光学成像系统

供应商:
深圳市中图仪器股份有限公司
企业类型:
生产厂家

产品简介

中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜3D光学成像系统在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像。它以共聚焦技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。

详细信息

中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜3D光学成像系统在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像。它以共聚焦技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。

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产品功能

(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;

(2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量;

(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能;

(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;


性能特色

1、高精度、高重复性

1)VT6000系列共聚焦显微镜3D光学成像系统以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度;

2)隔震设计能够消减底面振动噪声,仪器在嘈杂的环境中稳定可靠,具有良好的测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,保护仪器,降低人为操作风险。

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应用领域

对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:


应用应用.jpg


部分技术指标

型号VT6100


行程范围

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
仪器重量50kg
测量原理共聚焦光学系统
显微物镜10×;20×;50×;100×
视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量
宽度测量
XY位移平台负载10kg
控制方式电动
Z0轴扫描范围10mm
物镜塔台5孔电动
光源白光LED

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。