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深度剖析——PP-TOFMS

PP-TOFMS是HORIBA新研发的一款专用于固体材料中化学成分深度剖析的质谱分析仪。

PP-TOFMS主要由剥蚀和激发样品材料的辉光放电等离子体源和飞行时间质谱仪耦合而成。

高通量和通用性深度剖析技术

高离子密度使得辉光放电等离子体的溅射速率非常快，此外，由于样品分析无需超高真空腔，可以极大地缩短预分析时间。通常，一个亚微米厚的薄膜仅需几分钟就可获得分析结果。

PP-TOFMS采用的射频激发源适用于任何类型的材料分析，从导体到非导体（如厚玻璃基体上的薄膜）；从无机材料到混合材料。柔性基底材料表面的镀层通过简单的样品预处理后，同样也可采用PP-TOFMS进行深度剖析。

高动态范围

PP-TOFMS是一种融合了质谱和高强度等离子体源的所有优势后形成的高灵敏度分析技术。它在纳米深度分辨率下信号的动态范围可达到106，在深度剖析或基体分析时灵敏度可达到亚ppm级。分析过程中样品的剥蚀溅射与离子化发生在辉光放电腔的不同位置，空间上的相互独立可使基体效应最小化，并且通过内部简单的校准即可直接获得半定量结果。

全质谱覆盖

飞行时间质谱仪的优势是能够连续记录完整的质谱数据，它每33微秒就可以记录元素周期表中所有元素的全质谱图，任何元素都可以根据剥蚀时间/深度进行监控。这不仅意味着您不仅可以毫无风险地检测到任何元素随深度的变化，而且还可以检测到那些您意想不到的污染元素。

此外，所有的同位素都可以被检测，这对于通过同位素标记研究同重元素干扰或是氧化、扩散机理的人员非常重要。