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应用领域
脉冲射频辉光放电光谱仪不仅可对表面/深度进行剖析，同时也可做成分分析。它对固体材料，如金属、金属合金镀层、半导体、有机镀层、玻璃等中所有的元素都有很高的灵敏度，甚至是气体元素也可进行分析。
作为新兴的表面分析技术，辉光放电光谱仪凭借其功能和特点，可以与XPS和SEM有很好的互补。
GD-OES功能及用途
脉冲射频辉光放电光谱仪能够在短短几分钟内帮助您获得如下信息：
样品中含有什么元素？
属于哪个浓度水平？
样品在深度上是否分布均匀？
样品是否有镀层或应用了表面处理？
镀层的厚度是多少？
界面是否有污染？
样品是否被氧化？
不同层之间是否存在散射？

新的脉冲射频辉光源可以测试任何类型的固体样品：包括导体、非导体，甚至是在检测脆性样品或热敏样品时也具有优异的性能。
HORIBA Scientific的所有GD仪器都采用了高动态范围检测器，采用该项技术，使仪器的灵敏度可以做到实时、自动优化。这样在分析样品的时候可以做到对样品的痕量变化到常量浓度分析，进行快速灵敏的检测而无需任何折衷或参数预设。

GD-Profiler™ HR
概要
HORIBA Jobin Yvon GD-Profiler™ HR 对于解决分析问题，即使是复杂的基体，提供了高分别率和元素数量。60种元素（包括气体元素）可以同时分析。
特征
RF射频发生器- 标准配置，符合E级标准，稳定性高，溅射束斑极为平坦，等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。
脉冲工作模式既可分析常见的涂、镀层和薄膜，也可以很好的分析热传导性能差和热易碎的涂、镀层和薄膜。
多道(同时)型光学系统可全谱覆盖，光谱范围：110nm至800nm，包含远紫外，可分析C, H, O, N, Cl
HORIBA Jobin Yvon 的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器有光通量，因而有高的光效率和灵敏度
HDD® 检测器可进行快速而高灵敏的检测，动态范围达到10个量级
宽大的样品室方便各类样品的加载
QUANTUMT XP软件可以多种格式灵活方便的输出检测报告
激光指点器可用于准确加载样品
HORIBA Jobin Yvon单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性，可同时测定N+1个元素
GD-Profiler HR 1米焦距，分辨率高达14pm，可同时分析60个元素.
GD-Profiler HR 可以附加选配1米焦距单色仪，分辨率高达9pm.