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安装及调试日本CKD小型流量传感器

FSM2-NVF100-H041技术资料

吸收FSM系列的优势并实现了更大的进步。

继承了优异的应答性，量程最扩大到了1000L/min。

采用双画面和双色显示，并搭载自动参考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，实现了双向测量，注入了新价值。

流量量程增大

保持大流量，结构小型化

实现双向流体测量

精度提高 不超过±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四个类型。

双画面显示和双色显示功能

流量栏表示功能

、应用于各种领域中

小型流量感测器可以用在机械、汽车、计量仪器、精密仪器等领域和半导体、

生物等领域以及医疗、食品领域等上，用途非常广泛多样。

适用流体

感测器的用途

自动参考功能

高速应答 不超过50msec

利用表示一体型设计，通过设置主画面和辅助画面，提高了操作

的灵活性。

而且，利用双色显示，发生异常时一看便知。

在表示分离型中，通过流量栏表示，可以一目了然地掌握目标流

量。

通过按钮操作或者外部输入，可以自动获取开关输出的设定值。

避免了繁琐的设定过程。

通过采用了硅微细加工技术白金感测器小片，实现了高速应答。

有助于缩短间隔时间。

流量量程为500、1000 L/min这两个类型，是以往体积的30%。

实现了行业的小型化。

各种泄露检查

针孔检查

离子化器的吹扫气体确认

焊接气体的管理

吹扫气体的流量管理

落座确认

吸附确认

可以直接测量泄露流

量。即便是微压，由于

输出与针孔成正比，

因此也可以用来判断

有否故障、确认状态

情况。

可处理的流量量程大。

内嵌速控器型（特别订购品）可

以轻松对流量进行控制。

有助于设备的小型化、轻量化。

表示一体型、双向型可以任意设置流向进行测量。

管线安装的自由程度得到了很大提高，同时还可以用来探测逆流。

精度达到了±3%FS，实现了更为准确的流量测量。

可处理的流量量程大。

①与压力感测器不相上下的高速应答（应答由管线的内容积、压力等决定）

②由于是通过流量探测的，因此不存在因压力的变化而引起的调节、误检情形。

③可以探测出喷嘴或过滤器的孔口堵塞。

④通过流量探测，可以有效管理倾斜吸附等吸附错误。

利用压力感测器时有时差压过小而无法判别，此

时根据流量可以准确地进行判别。

激光激发器、半导体制造装置的N2气体管理

处置的流量量程大。

内嵌速控器型（特别订购品）可以

轻松对流量进行控制。

生活工业

食品、医疗

液晶

汽车

半导体

电子零组件

机械制造

汽车等

各种泄露检查

离子化器的流量管理

焊接氩、碳酸气的流量管理

涂装气体的流量管理

吹扫气体的流量管理

吸附确认

与压力感测器相比较（喷嘴直径为Ф0.3、真空压力为-70kPa时）

小型流量感测器（使用FSM2-※010时） 压力感测器

落座确认

流量差 ：830mL/min

吸附 吸附

一目了然

压力差 ：2kP

FSM系列

FSM2系列

是以往体积的

30%

（1000 L/min类型）

详情请参阅P29

正方向 双向 反方向

详情请参阅P25

详情请参阅P25

详情请参阅P28

流量栏表示

流量单位

主画面（显示瞬时流量）

〈双色显示〉

辅助画面（流向等）

机型种类 尺寸

超小型、轻量 高速应答 开关输出 模拟输出 大流量型

反方向

双向

正方向

分离型 一体型

主体材质

保持感测器性能，实现防范故障于未然。

页码

目录No.

页码

应答速度 显示器 材质 输出方

此产品的安装调试方式

水平安装 ( 使用贯通孔 )

托座安装 ( 使用专用托座 )

垂直安装 ( 使用底面内牙 )

连接口径：单触φ4、φ6、φ8、φ10

 Rc1/8、Rc1/4、M5

单个托座型号：FSM2-LB1

连接口径：Rc1/2

单个托座型号：FSM2-LB2

水平安装 ( 使用贯通孔 )

托座安装 ( 使用专用托座 )

垂直安装 ( 使用底面内牙 )

连接口径：单触φ4、φ6、φ8、φ10

 Rc1/8、Rc1/4、M5

单个托座型号：FSM2-LB1

连接口径：Rc1/2

单个托座型号：FSM2-LB2

安装及调整时

连接连接器后请务必安装连接器防护罩。

直接电缆的引出部位及连接器部不要形成压力。

请停止控制装置、机械装置后，在切断电源的状态

下进行布线。如果使装置过快运行有时装置会进行

异常动作，这样非常危险。请先使控制装置、机械

装置保持停止状态进行通电试验，并进行开关数

据设定。操作前、操作中请将人体、工具、装置所

带的静电充分放电后进行操作。活动部请使用类似

机器人用线材的具有耐屈曲性能的线材进行连接布

线。请不要超过电源电压范围使用。如果施加超过使用

范围的电压或交流电源，则可能导致本产品破裂或

烧毁。

本产品及布线设置时请远离强电线等嗓音源。电源

线产生的浪涌请另行采取措施。有时显示或输出会

有变动。

负荷请不要短路。因为可能导致本产品破裂或烧

毁。

金属主体(不锈钢主体、铝主体)型用电源请使用与

交流一次端绝缘的DC稳定电源，F.G.连接电源

侧的＋侧或－侧的某一侧后使用。为防止感测器的

绝缘损坏，金属主体型的内部电源回路和金属主体

之间连接有变阻器(限制电压约40V)。金属主体型

的内部电源回路和金属主体之间不要实施耐电压试

验和绝缘电阻试验。需要实施这些试验时请将布线

拆下后实施。电源和金属主体之间的过大电位差会

烧毁内部零组件。此外，金属主体型的本产品设置、

连接、配线后，装置、机架的电焊或短路事故的焊

接电流或焊接时过渡性高电压、浪涌电压等会导致

与连接上述元件间的回路、接地线或流体回路产生

电压泄露，最后使电线或元件损坏。请在全部拆去

主机或电线F.G.连接后进行电焊等操作。

金属主体利用OUT侧释放使用时也请务必连接接

头。否则可能导致孔口过滤器脱落。

如果使用单触接头，则插入管子，在确认管子不能

拔出后再使用。此外，管子请务必使用专用切刀切

成直角后使用。