德国普发真空pfeiffer vacuum气体质谱仪HiQuad™，QMG 7002
产品简介
详细信息
用于过程监测和优化产品品质的分析设备
德国普发真空pfeiffer vacuum气体质谱仪HiQuad™，QMG 700
普发真空为真空处理过程中的气体测定提供了各种不同的分析仪。从质谱仪到复杂的分析系统，在我们这里您将会找到从超高真空范围一直到大气压力的气体分析解决方案。四极杆质谱仪 PrismaPlus/PrismaPro 是气体分析Z基础的设备。PrismaPlus/Pro 是一个普遍适用的质谱仪，其磁场轴技术保证了高灵敏度。它还具有高效率以及测量速度快的特点。并且 PrismaPlus/Pro 不仅仅显示各自的分压，同样也可以检测总压力。它的界面接口使这款质谱仪可以很容易地与气体色谱仪连接。紧凑的设计，模块化结构和用户友好软件 使其成为泄漏检测、半导体制造、玻璃镀膜、冶金化工的理想设备。另外，在研发领域也有无数的应用。普发真空为其客户在所有这些领域中提供量身定制的解决方案。当然，普发真空还提供所需的质谱仪配件，例如各种离子源阴极。
什么是质谱仪
质谱测量是一种可以用来测量原子和分子质量的方法。通过这种方式测量化学混合物成分的分压来分析化合物。待分析的物质首先被转化为气态的聚合状态并且发生电离。电场使离子加速，使得它们在其各自的质荷比基础上被分类和分离。然后测定气体各种成分的分压。每个质谱仪包括一个离子源、一个质量过滤器和一个检测器。根据所采用的质量过滤器来区分不同类型的质谱仪 。由于其广泛的应用选项，四极杆质谱仪具有可靠的测量表现。这些分析设备也经常用于真空技术。
质谱仪及其应用
四极杆质谱仪具有平行排列的四根电极杆，构成了四极场。它们的交点与平面垂直于圆柱体轴线，形成一个场（因此命名为四极）。静态电场使离子加速以后，离子飞过四极场。杆之间的四极场每次只会允许给定质量的一个粒子通过，。四极杆质谱仪提供高分辨率版本以简易版两种型号供用户用作残余气体分析。由于其频率范围宽，这类质谱仪可应用于众多领域，包括从药理学到环境分析领域。
HiQuad™，QMG 700，具有 QMA 430，8 mm 不锈钢棒系统
具有用户友好 Quadera®软件的 HiQuad 质谱仪系统。带 HiQuad 控制器、高频发电机和分析仪 QMA，8-mm 不锈钢棒系统以及 90°-off-axis 次级电子倍增器的规格。
产品描述
高灵敏度和大动态范围
杰出长期稳定性
测量速度
产品
HiQuad™，1-300 amu
HiQuad™，1-300 amu
模块化结构的 HiQuad 质谱仪可适合您的使用。以下离子源可供选择：轴向离子源，格栅离子源，交叉臂离子源和气密交叉臂离子源。长丝材料：钨，钇铱，铼控制输入/输出模块 IO 700，通过模拟式和数字式输入端/输出端的信号交换
产品描述
测量速度
杰出长期稳定性
内置互联网浏览器和用于与计算机程序通讯的 OPC 服务器
产品
HiQuad™ 具有 QMA 430，1-300 amu，具有交叉束离子源 (PT Q14 021 110)
HiQuad™ 具有 QMA 430，1-300 amu，具有交叉束离子源
概述
HiQuad 质谱仪
测量速度，动态范围大，灵敏度和杰出长期稳定性
偏置离子源形成的低背景信号，场轴技术形成的低探测界限
Quadera®软件用以简单和明了的操作和显示
借助集成的矩阵计算确定气体浓度
技术参数
| MID 中的测量通道的数量 | 128 件 |
| 供应: 电压 | 100 – 240 V AC |
| 分压比 带 SEV | < 1 ppb |
| 分析仪 | QMA 430 |
| 分辨率，10% 峰值高度时可调节 | 0.3 - 7 u |
| 前置放大器 | EP 422 |
| 加热温度：分析仪 | 400 摄氏度 |
| 对 Ar 的灵敏度：法拉第 | 2 · 10-4 A/hPa |
| 峰值比的可再现性 | < 0.1 % |
| 工作温度：分析仪 | 150 摄氏度 |
| 工作温度：电气设备 | 5 – 40 摄氏度 |
| 探测器 | SEV 217/Faraday |
| 接口 | 以太网 |
| Z大工作压力：SEM | 1 · 10-5 百帕 |
| Z大工作压力：法拉第 | 1 · 10-4 百帕 |
| 杆系统：材料 | 不锈钢 |
| 杆系统：直径 | 8 毫米 |
| 杆系统：长度 | 200 毫米 |
| 检测限 | 2 · 10-15 百帕 |
| 测量速度：MID | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 测量速度：扫描条形图 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 测量速度：模拟扫描 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 温度：储存 | -20 – 60 摄氏度 |
| 离子源 | 交叉臂,2 阴极 |
| 离子源供电 | IS 716 |
| 质量范围 | 1 – 300 u |
| 软件 | Quadera® |
| 输入数字 | RUN-In, TTL, 测量循环启动 Ext._Protection, 外部触点 |
| 输入模拟 | 2 x ± 10 V |
| 输出：数字 | 2 x TTL-Output SYNC-Out, TTL (Trigger) |
| 输出：模拟 | 2 x ± 10 V, 12 位 静电计输出端 (EP) |
| 连接法兰（入口） | DN 63 CF-F |
| 阴极 | 钨 |
| 高压供电 | HV 701 |
| 高频发电机 | QMH 400-5 |
尺寸
A
轴向离子源 = 26 mm 格栅离子源 = 27 mm