Hiden HPR30过程气体分析质谱仪
产品简介
详细信息
特点FEATURES
- 简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构
- Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到宜的灵敏度
- 连续取样从10-4mbar至1mbar.
- 高灵敏度（可至5ppb），质量数可选至1000amu
- 软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究
- 稳定性好(24h之上，峰高变化小于±0.5%)
- MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
- 气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
- 自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警
应用APPLICATIONS
- CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
- 真空涂覆/ 等离子刻蚀
- 沉积溅射
- 污染物研究
- 基本压力辨别
- 泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析
- 除气/烘烤/泵效能
- 反应室/过程气体污染物
规格参数SPECIFICATION
HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。