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产品介绍INTRODUCTION

• 适合做多层薄膜的深度分析。
• 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。
• 方便使用。
• 样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。
• 我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。
• 我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。
• 我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多其它分析的使用。
• 结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。

特点FEATURES

• 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
• SIMS 成像，分辨率在微米以下
• 光栅控制，增强深度分析能力
• 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
• 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu
• 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
• Penning规和互锁装置可提供过压保护
• 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

规格参数SPECIFICATION

• 质量数范围：300，510或1000amu
• 分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。
• 检测器：离子计数检测器，正、负离子检测
• 检测限：1:10E7
• 质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）
• 主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV；B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）
• 空间分辨率：A：100～150um；B: 50nm
• 取样深度：2个单分子层（静态）；不受限制（动态）