PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
产品介绍INTRODUCTIONPSM是一台差式泵质谱仪（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子
产品介绍INTRODUCTION
- PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。
- 差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接
- 电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS
- Penning规和互锁装置可提供过压保护
- 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
- 标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选
- 灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆
- 质量数范围：0 ~ 2500amu
- 脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
- 能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选 ）
- Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选
- 通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制
