微波等离子化学气相沉积技术
产品简介
详细信息
微波等离子化学气相沉积技术(PECVD、MPCVD),通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合工业生产处理,实验室研究开发.....
微波等离子体的#势:
1、有较高的电离和分解程度
2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,可使基底的温度不会过高。
3.能在高气压下维持等离子体。
4.在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,
5.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。
微波技术参数
微波频率:2.45GHz
微波功率:1-3KW
控制方式:PLC控制
专业生产厂家专研技术支持,特殊工艺要求支持定制。
微波技术参数
微波频率:2.45GHz
微波功率:1-3KW
控制方式:PLC控制
专业生产厂家专研技术支持,特殊工艺要求支持定制。