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微波等离子化学气相沉积技术

供应商:
南京金佰力微波设备有限公司
企业类型:
生产厂家

产品简介

微波等离子化学气相沉积技术(PECVD、MPCVD),通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度

详细信息

微波等离子化学气相沉积技术(PECVDMPCVD),通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合工业生产处理,实验室研究开发.....

微波等离子体的#势:

1、有较高的电离和分解程度

2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,可使基底的温度不会过高。

3.能在高气压下维持等离子体。

4.在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,

5.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。

微波技术参数

微波频率:2.45GHz

微波功率:1-3KW

控制方式:PLC控制

专业生产厂家专研技术支持特殊工艺要求支持定制。


微波技术参数

微波频率:2.45GHz

微波功率:1-3KW

控制方式:PLC控制

专业生产厂家专研技术支持特殊工艺要求支持定制。