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微波等离子化学气相沉积技术（PECVD、MPCVD),通过等离子增加前驱体的反应速率，降低反应温度。适合工业生产处理，实验室研究开发.....

微波等离子体的#势：

1、有较高的电离和分解程度

2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高，运载气体保持合适的温度。这个特性，可使基底的温度不会过高。

3.能在高气压下维持等离子体。

4.在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，

5.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离，这是直流等离子体不能达到的。

微波技术参数

微波频率：2.45GHz

微波功率：1-3KW

控制方式：PLC控制

专业生产厂家专研技术支持，特殊工艺要求支持定制。