晶圆激光打标机
产品简介
详细信息
绿光激光标记的优势:
常见的绿激光是指532nm波长的激光。工作原理:激光器内部有一个808nm波长 的红外线激光管,用于泵浦(激发)YVO4激光晶体来发射1064nm的远红外激光, 1064nm的远红外激光经过倍频晶体后波长减半,频率加倍,生成532nm的绿激光。
成本优势:在满足客户使用要求的前提下,选择高性价比方案,绿激光器成 本明显低于紫外激光器,532nm振镜比进口紫外振镜相比,成本急剧降低, 532nm平场镜头相比紫外平场镜头也是如此。
平均功率优势:在相同采购成本前提下,绿光平均功率显然比紫外大很多。平均功率高的绿光,在切割效率上比紫外要快很多,直接提高激光切割效率,降低切割时间成本。
激光划刻精细:线条可以达到微米级,采用激光标刻技术制作的标记仿造和更改都非常困难,对产品防伪极为重要。
打标效果照片:
产品性能与特点:
○ 印记规格:数字或字母字高≥0.12mm、字宽≥0.12mm、字深≤0.015mm;
○ 适合打标的晶圆规格:8英寸Wafer、12英寸Wafer;
○ 振镜扫描范围≥35mmx35mm,打标位置偏差≤±20μm;
○ 表面质量:字体完整,无中断,清晰可见,无重影,线宽≤20μm;
○ 整片打印印记重复精度<±0.02mm;
○ 双CCD定位,正反双面定位;
○ 平台定位精度±0.0005mm;
○ 软件具备识别条形码参数切换和自动替换字符功能;
○ 软件具备Offset手动输入功能,以解决Wafer上不规 则的打标偏移现象;
○ 自动生成MappingFile功能:可根据参数生成一个与 实际图形重合的虚拟die分布图;
○ 模块化设计,国际品牌配置,确保设备稳定运行。