全自动等离子清洗机
产品简介
详细信息
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里,注入介质气体、通过射频电源起辉产生高能量的等离子体。等离子体轰击被清洗物表面,与有机污染物发生化学及物理作用,形成挥发性化合物,随工作气体排出,达到清洗的目的。
等离子清洗在半导体封装中的应用:
○ 晶圆清洗:清除残留光刻胶;
○ 封装点银胶前:使工件表面粗糙度及亲水性大大提高,有利于银胶平铺及芯片 粘贴,同时可大大节省银胶的使用量,降低成本;
○ 压焊前清洗:清洁焊盘,改善焊接条件,提高焊线可靠性及良率;
○ 塑封:提高塑封料与产品粘结的可靠性,减少分层风险;
○ BGA基板清洗:在BGA贴装前对PCB上的Pad进行等离子体表面处理,可使Pad表面达到清洁、粗化和活化的效果,极大的提高了BGA贴装的一次成功率;
○ FlipChip引线框架清洗:经等离子体处理可达到引线框架表面超净化和活化的 效果,提高芯片的粘接质量。
等离子清洗机产品规格书:
项目 | HTM-6023 | HTM-6025 | HTM-6041 | ||||
工作 | 清洗平台 | 2个 | |||||
真空腔 | 1个 | ||||||
真空腔尺寸 | 458mm×308mm×30mm | ||||||
工作轨道数量 | 4轨(标准) | 5轨(定制) | 6轨(定制) | 5轨×2列 | 4轨(标准) 5轨(定制) | ||
单次片式 | 4条 | 5条 | 6条 | 10条 | 4条 | ||
适应产品规格 | 长 mm | 158-300 | 158-300 | 158-300 | 153 | 158-300 | |
宽 mm | 25.4-100 | 25.4-70 | 25.4-54 | 40-72 | 25.4-100 | ||
工艺 | 射频功率 | 50-500W可调 | |||||
真空度 | >10pa | ||||||
氩气流量 | 5-30ml/min | ||||||
清洗时间 | 依据产品具体设定 | ||||||
清洗效果判别方法 | 水滴角测定仪 | ||||||
清洗效果 | 水滴角<15° | ||||||
产品载具尺寸mm | 308×108×155 | 308×80×155 | 308×80×155 | 160×80×153 | 308×108×155 | ||
产品载具步距 | ≥2.54mm,可设定 | ||||||
产品进料/收料方式 | 自动升降,自动进、出料,产品片式清洗后,回到清洗前的存放位置。 | ||||||
UPH | 576条/小时 | 720条/小时 | 864条/小时 | 1000条/小时 | 576条/小时 | ||
更换品种调节点 | 手动调节三处 | 全自动 | |||||
设备 | 上下料 | 左进左出,自动升降,清洗后自动回原层位 | |||||
清洗送收料 | 高效双盘交互式防过载自动送收料 | ||||||
真空腔电极 | 平行电极板结构 | ||||||
控制系统 | PC控制+PLC控制 | ||||||
机械标准件 | SMC气动元件+YASKAWA电机+SMC电缸+中国台湾上银直线导轨+MISUMI标准件+陶瓷导轨 | ||||||
电器元件 | PC+OMRON PLC+伺服+SCHNEIDER电气元件 | ||||||
真空泵 | KASHIYAMA干泵,2Pa,600L/min | ||||||
射频电源 | 1000W 13.56MHz | ||||||
信息化 | 清洗参数 | 20段工艺参数预先设定,一键调用 | |||||
运行数据 | 实时显示 | ||||||
清洗记录 | 实时记录 | ||||||
报警日志记录 | 可记录,可查询,可输出 | ||||||
设备管理系统联网 | 选配 | ||||||
与MES系统联网 | 选配 | ||||||
设备主要用途及特点 | 用途 | 适用于规模大、机台多的生产线进行上芯、压焊、塑封产品的框架及基板清洗。 | 适用于LED或短产品全制程清洗。 | 适用于规模大、机台多的生产线进行上芯、压焊、塑封产品的框架及基板清洗。 | |||
动力配置 | 供电电源 | AC220V 50Hz~60Hz 32A四孔插头 5KW | |||||
压缩空气 | 4-6bar,快插口径ø8mm | ||||||
氮气 | 4-6bar,快插口径ø8mm 99.99% | ||||||
氩气 | 2-4bar,快插口径ø8mm 99.9% | ||||||
排气 | 600L/MIN,φ25mm | ||||||
重量 | 820KG | ||||||
设备外形尺寸 | 1670mm×1100mm×2010mm | ||||||
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