化工机械设备网

登录

通用化工设备干燥设备烘箱

HMDS预处理烘箱/涂胶烘箱/喷胶烘箱

供应商:
普列多(杭州)智能科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

半导体晶圆光刻工艺中的涂胶前的HMDS处理...

详细信息

设备型号 内尺寸(W*D*H)mm 温度范围 隔板数
PHHMDS系列 任意尺寸定制 +10-250℃ 任意
PHHMDS-6050 415×370×345 +10-250℃ 1块
PHHMDS-6090 450×450×450 +10-250℃ 1块
PHHMDS-6210 560×600×640 +10-250℃ 1块

一、控温方式 PLC程序控制+7寸液晶触摸屏,抽真空-充氮气-烘烤-抽真空-充入HMDS。

二、内胆材料 镜面不锈钢板。

三、加热装备 不锈钢电热管。

四、传热方式: 辐射导热。

五、洁净度: 安装高效过滤系统,确保箱内环境达到class100。

六、真空度: 真空度达到≤50pa,极限真空度可达到10pa。

七、氧含量控制: 实时检测,氧含量可控制100ppm以下,可至20ppm。

八、密封方式: 耐高温压迫密封胶条,真空状态密封更牢固。

九、定时装置: 恒温定时,预设烘烤时间,时间到自动切断加热并蜂鸣报警

十、超温保护: 配置独立超温保护仪,超过设定温度自动切断加热并蜂鸣报警

十一、电器配置: 断路器、接触器、过载保护器、中间继电器、离心抽风机等

十二、安全装置: 漏电,短路,过载保护;鼓风电机过载缺相保护