TFC化学气相沉积-微型单温区CVD系统
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产品详情
微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
产品特点
1.双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C；
2.高纯状氧化铝纤维绝缘层，节约能源；
3.炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。
微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
1.双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C；