全数字式气体质量流量控制器生产
产品简介
详细信息
气体质量流量控制器WGLD-380（数字）是热式质量流量计。气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制。本产品主要应用的行业有材料科学、环境科学、光伏半导体及化工等领域。
产品特点（优势）：
本具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。
产品参数：
产品名称 | 气体质量流量控制器WGLD-380（数字） | |
基本型号 | WGLD-380 | WGLD-380M |
流量规格①(N2标定) | 0～10,50,100,500 SCCM 0～15,20,25,30 SLM | |
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2~100)%F.S.［（1~99.9%F.S.）可选］ | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
准确度 | ±1％F.S. (≤15SLM) ±2％F.S. (＞15SLM) | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.05～0.3MPa （<2slm）<> 0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM）0.15～0.3MPa （>10SLM） | ＜2MPa |
至大耐压 | 2MPa | |
工作环境温度 | 5~45°℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0～+5.00V（输入阻抗大于100kΩ，输 出电流不大于3mA) RS485 MODBUS | 0～+5.00V（无输入信号，输出电流不 大于3mA) RS485 MODBUS |
供电电源要求 | 15VDC - 24VDC(300mA) | 15VDC - 24VDC(300mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m³/S(He) | |
介质接触材质 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM | |
管道接头尺寸 | VCR 型接头：1/4” 双卡套型接头：1/4”、1/8”或φ6、φ3mm 内螺纹：9/16-18UNF内螺纹（深度＜8mm） | |
净重量 | 1.0kg | 0.8kg |
注1；满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在20SLM~30SLM范围内任选,例如23SLM。 | ||
产品尺寸：
接线定义：
