一体化模拟气体质量流量控制器
产品简介
详细信息
气体质量流量控制器WGL-5180（模拟）是热式质量流量计。气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，以下简称MFC）可对气体的质量流量进行精密测量和控制；应用领域：中流量，适用于材料科学、纳米传感器、环境科学及催化评价等研究。
产品特点（优势）：
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。
产品参数：
产品名称 | 气体质量流量控制器WGL-5180（模拟） | |
基本型号 | WGL-5180 | WGL-5180M |
流量规格①(N2标定) | 0～10,50,100,500 SCCM 0～15,20,25,30 SLM | |
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2~100)%F.S.或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
准确 | ±1％F.S. (≤15SLM) ±2％F.S. (＞15SLM) | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.05～0.3MPa （<2slm）<> 0.1～0.3MPa （2SLM-10SLM） 0.15～0.3MPa（>10SLM） | ＜2MPa |
至大耐压 | 2MPa | |
工作环境温度 | 5~45°℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0～+5.00V（输入阻抗大于100kΩ，输 出电流不大于3mA) | 0～+5.00V（无输入信号，输出电流不 大于3mA) |
供电电源要求 | +15VDC(50mA)，-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m³/S(He) | |
介质接触材质 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM | |
管道接头尺寸 | VCR型接头：1/4” 双卡套型接头：1/4”、3/8”或φ6、φ10 mm 内螺纹：9/16-18UNF内螺纹（深度＜8mm） | |
净重量 | 1.00kg | 0.8kg |
注1；满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在20SLM~30SLM范围内任选,例如23SLM。 | ||
产品尺寸：
接线定义：
