- ◆ 外形尺寸（不包括报警灯）
- 1000（W）×800（D）×1750（H）
- ◆ 仓体结构（石英，约20升）
- Φ 245mm ×400Lmm
- ◆ 等离子发生器（德国）
- 频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作
- ◆ 控制系统
- 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
- ◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）
- 英国爱德华斡旋式干泵 GV40
- 美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器
- 中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管
- ◆ 充气系统
- 美国MKS高精度电子质量流量计（2路气体配制）
- 美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压
- 日本SMC及CKD高真空气阀组件
|
|
|
