低温等离子废气净化器应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂的定期换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。

等离子废气处理器在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。

等离子废气处理器去除污染物的机理：

等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：

1、电场＋电子→电子

2、电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团

3、活性基团＋分子(原子)→生成物+热

4、活性基团＋活性基团→生成物+热

等离子废气处理器去除污染物的原理：

等离子废气处理器技术处理污染物的原理为：低温等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，低温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理领域中的一项具有优势的高，等离子体受到了化工废气治理方面的高度评价。