INFICON CDG045D SKY电容膜片真空计

INFICON SKY CDG045D真空计是高精度总压强测量和控制的。为达到优异的讯号稳定性和可重复性，将CDG045D真空计的温度控制于45度。全量程范围从100毫乇至1000乇，配有全部常用的法兰型式和fieldbus接口，和提供线性的0至10伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好，从大气压恢复快，预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量，成本效益好的压强传感器，用于要求高的各项真空应用中。

*性：

1、低CoO(拥有成本)，50％快速预热，能效高，功耗低

2、易整合于系统中，宽量程范围，法兰和接口，标准型号带两个设点

3、简易的一键操作或遥控讯号调零指令，零点偏离可调

4、诊断端口用于快速维修和维护

5、两年保修期，采用的加热概念和传感器保护，真空计使用寿命长

6、由于的讯号稳定性和可重复性，即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用，无需重复校准

7、符合标准：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1、  刻蚀，CVD,PVD和其它半导体生产过程

2、  化学和腐蚀性真空过程

3、  常用薄膜和真空过程

4、  用于按国际标准检测测试仪器的参考传感器

5、  用于跟踪性测量的传输标准