001，002和003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。
 
技术参数
流量范围：从 0-5SCCM 到 0-500SLPM
环境和操作温度 ：-10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
操作压力：1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具体请参考表一
安装方向：对位置不敏感
额定工作电压：4-11VDC （ 24VDC ）
额定工作电流：150mADC （ 275 mADC ）
阀线圈电阻：80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
 
结构材质
主体：316 不锈钢
孔：316 不锈钢
阀组件（接液）：001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
                                   002 型：302SS ， 316SS ， Sandvik1802
                                   003A 型：302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材质：001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
                      002 型：Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
                      003A 型：Buna N ， Viton
* 注：上述流量范围反映的是氮气标定下产生的最小流量和流量，可采用其它介质的流量范围，当操作参数有疑问时为了保证选型，请咨询厂家。