PZCY系列滤芯专为氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒及胶体过滤设计，采用连续渐变孔径深层过滤技术，实现分级过滤，是滤芯具有高纳污空间，大大延长了使用寿命。

优点特性

•         梯度式精度，深层过滤技术，滤膜孔径由外到内逐渐减小，截留大颗粒，放行有效颗粒，增加有效过滤面积，提高纳污量，从而延长滤芯使用寿命
•         采用纯聚丙烯结构，非接触热熔焊接技术，控制了过滤过程中的析出问题，具有广泛的化学相容性

        EPTY系列滤芯专门针对CMP研磨精密过滤设计，能有效拦截浆料中大颗粒，放行有效颗粒，保证研磨液中颗粒大小的均匀性。稳定性，采用非对称膜结构，使滤芯具有的纳污能力。

优点特性

•         采用双层PES膜结构，保证超高过滤效率，能准确拦截大颗粒，放行有小颗粒
•         采用非对称微孔膜梯度孔径结构，极大提升过滤性能，增大滤芯纳污量，提高使用寿命
•         采用PP骨架、PES滤膜，具有优异的化学相容性