CMPA系列滤芯是适用于氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒以及胶体的过滤。采用分级处理、的渐变孔径深层过滤技术，实现分级过滤，使滤芯具有高纳污空间，大大延长了滤芯的使用寿命。

产品特性

梯度过滤
滤膜孔径由外到内逐渐减小，截留大颗粒，放行有效颗粒。增大了有效过滤面积，提高了纳污量，从而延长了滤芯使用寿命

低析出

滤芯采用纯PP材料，生产过程不使用胶粘剂和表面活性剂，有效控制了过滤过程中的析出问题。纯PP结构保证了广泛的化学相容性，适合多种液体过滤

可选多种精度、接口

可选0.5-90μm的多种过滤精度，满足不同抛光液的工艺要求。长度、接口类型亦有多种规格提供选择，可以配合不同类型的过滤器进行使用

应用领域

抛光液的过滤

材料结构

滤材：PP

外壳/中心杆/端盖：PP

滤芯性能

工作温度：80℃

工作压差：4bar@21℃

2.4bar@80℃