CMPW系列滤芯采用卷绕结构设计，能够对CMP的浆液精准过滤，拦截大颗粒，放行有效颗粒。由外到内的梯度结构，增加了纳污空间，延长了滤芯的使用寿命。

产品特性

低析出

全聚丙烯材料结构，采用热熔焊接技术，不使用黏合剂，较少的溶出物，能够有效控制溶出物析出

高纳污量、寿命长

由外到内的梯度设计，避免了凝结的浆液过快堵塞滤膜表层，充分利用纳污空间，具有高纳污量和更长的使用寿命

有效过滤

的卷绕设计，能够实现对CMP的浆液精准过滤。拦截大颗粒，放行有效颗粒

防止纤维脱落

的网罩结构，防止了滤芯的纤维脱落

材质规格

滤材：PP

外壳/中心杆/端盖：PP

滤芯性能

工作温度：80℃

工作压差：4bar@21℃

2.4bar@80℃