半导体集成电路应用
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上海慕溯工业设备有限公司
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SEM系列烘烤制程设备具有的清洁工艺，低氧，快速循环固化粘合剂和聚合物的大批量半导体封装和组装。应用包括晶圆级老化，芯片粘接，酰亚胺胶保护引线与芯片键合固化，老化和可靠性测试。VAC系列真空制程设备，目前我们已经成功解决了电容器，电阻器和其他电子元件热处理的许多技术挑战。应用包括低温干燥，液晶面板脱泡，靶材真空水分解析处理，热解，固化和陶瓷电容器烘烤，应力消除，HMDS晶片气相涂布等应用
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