可堆叠清洁工艺烤箱旨在节省宝贵的占地面积，并根据您的特定需求提供各种定制选项。

这些烤箱的典型应用包括芯片固化和其他半导体封装工艺，生命科学的去除热原，灭菌和干燥。烤箱配置分为220/380V和50/60Hz

对于必须进行最小污染的生产环境过程，SEM-H和SWM-N系列烤箱提供HEPA过滤的标准。再循环气流为100％HEPA（高效微粒空气），经过ISO级操作过滤

烤箱室内5（100级）或更好。这款烤箱也可以在没有HEPA过滤的情况下订购。

标准功能：

u SEM-H控温范围RT~260°C ( SEM-N 控温范围RT~380°C

u 控制面板上位于右侧布局符合人体工程学，便于维修及操作

u 不锈钢内部和外部，所有内部接缝连续

焊接在绝缘侧以保护腔室免受污染

u 控制具有大型LCD显示屏，集成数据记录功能和USB端口，可实现简单的烤箱设置和数据导出

u SEM-N系列可在空气或氮气氛围配置（氧气能力20ppm）

u Modbus通信连接，用于远程监控和记录

u 可编程门锁

u 声音和视觉警报

选项：

u 三色工艺叠灯

u 数据采集软件

u 符合CE标准

u HEPA过滤器

u 氧浓度监测系统

u 更多功能请与我们联系