详细介绍
本装置采用纯水（去离子水）作为主冷却介质，主冷却水循环回路和副冷却水（风）路，设有水流量、水温、水质、水压可控。
当装置在恶劣条件下运行时，能稳定地向主机输出额定温度、压力、流量的纯水。有效地避开露点，防止硅元件及主机管道的结露现象。为了防止纯水受容器管道污染而导致水质下降，本机主循环冷却系统采用不锈钢板式换热器或采用轧片式复合紫铜铝翅片，以及水泵、水箱、纯水管路等均采用1Cr18Ni9Ti材质，耐腐蚀性能好，并装有水质处理设备能有效地提高纯水水质，从而避免主机管道的结垢等电腐蚀现象，确保主机在额定范围内安全可靠地运行。
