橫河电机YOKOGAWA台式微量氧氧气分析仪OX400

OX400橫河电机YOKOGAWA台式微量氧氧气分析仪OX400

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-03-09 07:11:45
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上海晖盈实业有限公司

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产品简介

氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气

详细介绍

特点:

使用寿命长,响应速度快

由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术,传感器的寿命周期提高了三倍

圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应

 

高性能和高可靠性

即使在低氧浓度下,仍具有*的精度和线性

在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式

 

内置功能和多种自诊断功能

自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能

提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误

 

出众的维护性

可现场更换传感器

小型轻量,易于安装

 

主要技术参数:

 

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式抽提式等

样气条件

流速200±25ml/min(仅用于传感器)
温度0~50℃(无结露)
湿度无结露
压力0~300PaG
zui大容许压力30kPaG

测量量程

0~10ppm O2至0~100vol% O2

输出量程

自动

0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默认)

固定

设为0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100%

部分

可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出,路:4~20mA DC(zui大负载电阻550Ω),第路:可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻10kΩ或更大)

接点输出

报警输出2点

错误接点,O2浓度报警接点

量程范围输出1点

接点输出

多选择器(选配件)

流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1点采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

故障

传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止

报警

加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限

串口通信

RS-232,38400 bps

标定方法

(1)3点10ppm,1000ppm,空气,(2)2点可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz

功耗

100~120V AC,200VA zui大,220~240V AC,400 VA zui大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm

质量

约5kg

管线连接

气体入口Rc1/4或1/4NPT内螺纹
气体出口Rc1/4或1/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件

室内,盘装或壁装,非易燃区域

环境温度

0~40℃,无结露

环境湿度

5~85%RH

储存温度

-5~50℃

重复性

±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%)

线性

±2%F.S.
±3%F.S.(0100ppm或更低)

响应时间

90%响应
10秒内(0~1%或更高)
30秒内(小于0~1%)

漂移

±2%F.S./周

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