技术指标
· 流量范围：满量程从40SCCM到10SLPM（N2@70℉&5PSIG）
· 响应时间：3～4秒
· 精度和线性：±2%满量程
· 重复性：±0.2%满量程
· 量程比：50：1（2%-100%满量程）
· 工作温度：-10 ～70℃（14-158℉）
· 温度漂移：±0.1%/℃
· 压力漂移：±0.1%/atm（相对于N2）
·设定点输入/流量信号输出：0-5Vdc（流量信号输出的zui小负载电阻2KΩ）
·供应电源：±12（±5%）或+15（±10%）VDC（电流消耗﹤250mAdc）
·安装方向：对位置不敏感
·预热时间：10分钟
·电气连接：D型（9针）
·过程连接：1/8″NPT内螺纹
结构材质
主体：铝
阀帽：铝
孔：黄铜
阀组件（接液） ：不锈钢
Kalrez@and Viton®are registered trademarks of DuPont Dow Elastomers L.L.C
密封材质（O型环和阀座）：Buna N. EPDM,Kalrez®,
Neoprene或Viton®
过程连接 ：镀镍铜（入口）和铝（出口）
订货信息
订货时，请提供：
·流量范围
·气体类型
·工作温度
·入口压力
·出口压力
·标定的标准温度（如：0℃，20℃，21.1℃或25℃）
·密封材质
·附加选项（如：街头，连接电缆，等）
