9系列产品也采用了热式测量原理，因此具有热式原理的高精度、高灵敏性、宽量程比等特点，且无需平方根修正。同时采取了毛细管取样方式，具有极低的能耗。每台设备出厂前都会按照客户的气体、量程，严格地按照NIST标准进行出厂校准，同时，比例调节阀嵌入在流体通道内，从而保证了精巧的体积。
技术参数：
量程：流量计5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材质：接液部位：316L不锈钢；外壳：17-4不锈钢
阀座及阀芯：17-4不锈钢
密封材质：标配为氟橡胶（Viton）
可选丁纳橡胶Buna，全氟醚橡胶KalRez
泄漏率：不超过1×10 毫升/秒，氦气
环境温度及介质温度：0-60℃
精度：1%FS（包括线性精度）
量程比:100:1
响应时间：500ms
重复性：优于0.15%FS
压力极限：1000PSIG
zui大压降：流量计：250Pa
控制器：7-14KPa（500SCCM以下）
控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）
电源：24VDC@250mA（流量计）24VDC@350mA（控制器）
输出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入电源）
设定点信号：内置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳线）
电气连接：9针D接口（9 Pin Sub D）
温度影响系数：优于0.05%FS/℃
压力影响系数：优于0.01%FS/PSI
标准温度：21℃
标准压力：760Torr
重量：流量计：440g 控制器：460g
订货选型：
请按照下面的选型表进行选型，此外，还需提供以下信息：
流量范围
气体类型
气体湿度
工作温度
工作压力
