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无尘烤箱技术指标
1.产品特点：
◆ 内、中桶材质采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，外膛采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘（PARTICLE） ；
◆ 全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生PARTICLE；
◆ 耐高温，能有效过滤微尘而达到洁净等级class100＃；
◆ 叠层组合式，减少场地占用面积，效率高。
无尘烤箱
2.适用范围： LCD、CMOS、IC制程烘烤。
3.技术参数：
型 号 | SPQ3-80 | SPQ3-100 | SPQ3-150 |
内部容积 | 80L | 100L | 125L |
内部尺寸 | 50×40×40 | 50×45×45 | 50×50×50 |
内尺寸表示为：W×H×D 宽×高×深 单位：cm | |||
功率（KW） | 3.0 | 3.5 | 4.0 |
系 统 | PID智能调节或可编程PID自动调节 | ||
温度范围 | RT+10℃～200℃ | ||
温度偏差 | ±1.0℃ | ||
波 动 度 | ±0.5℃ | ||
洁 净 度 | 100级 | ||
内体材料 | SU304不锈钢板 | ||
外箱材料 | SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板（喷塑） | ||
保温材料 | 超细玻璃棉 | ||
加 热 器 | 镍铬合金电热式加热器 | ||
循环系统 | 轴流风机 | ||
控制系统 | 高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器 | ||
标准配置 | 样品架2层、电源线1条 | ||
可选配置 | 测试孔（￠25m位于门上）、增加的样品架 | ||
注：另外可按照客户需求尺寸定做产品。
