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工作温度超过100°C的过程中标准石英晶振片会产生非常多的噪声，阻碍了精确而稳定的薄膜厚度测量。为了解决这个问题，我们公司用*技术制造了SuperQuartz(SQ)™超级石英晶振片，SQ晶振片可高效地工作在500°C以上的温度，*地应用于高热过程，如ALD, CVD, OVPD和高温PVD等。

SQ超级石英晶振片上可拥有金、铝或铂电极，SQ™石英晶振片的工作温度可达500°C或高于500°C，频率：5和6MHz，直径14mm。

应用：

● 原子层沉积 (ALD)

● 化学气相沉积 (CVD)

● 分子束外延 (MBE)

● CIGS (薄膜太阳电池)

● OLED

● 多层光学薄膜沉积