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TV 2K-G分子泵TV 2K-G分子泵

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厦门太星机电有限公司

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产品简介

*可编程控制器命令和监控关键参数
启动/停止
互锁 / 速度设定
喷吹/放气装置
操作模式
动作点设定

来自于镀膜工艺方面的技术难题
系统的本底压力在 10-7 mbar的范围
稳定的工艺压力在 10-3 mbar的范围
必须具有高氩气负载能力
大量热量的产生

来自于环境以及系统运行中的技术难题
必须保持高产量的客观事实
湿度及冷凝水
颗粒及混合物
系统整合控制需求
系统自我早期诊断需求
精确的转子设计
温度的监视及控制
内置保护装置（喷吹/放气）
工业级的耐用性外壳设计
内置的早期自我诊断系统

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