D07系列质量流量计

D07系列质量流量计

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2018-04-17 09:15:03
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沈阳威利德真空技术有限公司

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产品简介

质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点,其操作使用方面,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产片配套使用,控制器与显示仪之间用电缆连接。

详细介绍

 质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
       D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点,其操作使用方面,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。
       D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产片配套使用,控制器与显示仪之间用电缆连接。 
 

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