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超精密机械加工主要包括三个领域：  
 （1）切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。      
（2）磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。  
   （3）特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可达0.1μm。如用扫描隧道电子显微镜（STM）加工，线宽可达2～5nm。 
技术，是现代机械制造业zui主要的发展方向之一。在提高机电产品的性能、质量和发展*中起着至关重要的作用，并且已成为在竞争中取得成功的关键技术. 超精密加工是指亚微米级（尺寸误差为0.3～0.03μm，表面粗糙度为Ra0.03～0.005μm）和纳米级（精度误差为0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm）精度的加工。实现这些加工所采取的工艺方法和技术措施，则称为超精加工技术。加之测量技术、环境保障和材料等问题，人们把这种技术总称为超精工程。