产品简介
金属密封,泄漏率1×10-11Pa•m3/s，适用于高真空设备、半导体行业、高纯气体/强腐蚀/有毒气体 等对泄漏率有高要求的场合。
详细介绍
日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤±1%，反应时间≤±1/秒，基本性能适用于半导体过程控制，实现了划时代的低成本。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。适用于高真空设备、半导体洁净室、高纯气体输送等对泄漏率有很高要求的场合。
产品特色：
通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应
通用的常闭型阀门
无焊接构造，金属密封确保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa•m3/s
采用膈膜阀减少了死区
间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控制器兼容
技术参数：
流量FS(N2换算)：10SCCM-20SLM
气体种类：所有气体(腐蚀性、有毒、特殊气体都可)，高纯气体
传感器类型：热式传感器
阀门类型：电磁比例阀，常闭
控制范围：2%-99%
控制速度：2%-99%,1秒以内
另可选：QS快启动，反映时间更快
控制精度：±1.0%FS以内
线性： ±0.5%FS以内
重复性： ±0.2%FS以内
工作差压：满量程FS≤5升/分钟，49-294Kpa
5升/分钟≤满量程FS≤100升/分钟，98-294Kpa
低差压特制：2-149Kpa，根据具体流量来定制
高差压特制：294-784Kpa，根据具体流量来定制
产品耐压：980Kpa
泄漏率：为1x10-11Pa.m3 /sec以内
使用温度：0-50℃
允许湿度：10-90%
产品材质：主体-SUS316L
密封圈：SUS316L
管路接头：1/4英寸VCR
电气接头：D型9针
输入信号：0-5V(模拟信号)
输出信号：0-5V(模拟信号)
供应电源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
产品重量：1000g
电气D型9针连线示意图：
1号针：阀门开关信号(可不接)
2号针：输出信号0-5V
3号针：电源+15VDC
4号针：电源COM
5号针：电源-15VDC(
6号针：输入信号(高)
7号针：输出信号COM
8号针：输入信号(低)
9号针：阀门工作电压反馈(可不接)
