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搭载了高性能X射线管，实现了高精度的测定。极微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。
| 型号 | SFT9300系列 |
| 射线源 | 空冷式小型X射线管 |
| 准直器 | □型 0.025 x 0.2mm, 0.2 x 0.025mm |
| 样品表示倍率（CRT上） | zui大4倍可变焦距 |
| 样品平台 | 移动量：220（X）x 150（Y）x 150（Z）mm |
| 焦距切换功能 | 3段切换：10mm, 40mm, 70mm |
| 主要的应用 | 多层镀膜：zui大5层（各层zui大10元素） |
搭载了高性能X射线管，实现了高精度的测定。极微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。
搭载了75W高性能X射线管。
搭载标准的Φ50μm微小准直管（zui小Φ15μm）。
容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。
依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。
搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。
搭载了焦点切换功能，能够对有高度的样品的低部分进行测定。
利用伺服马达精确的驱动平台。
运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
