MEMS传感器的介绍
时间：2013-05-30 阅读：229
微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems，MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。目前，*有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中微传感器占相当大的比例。微传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
MEMS传感器是是近年来兴起的一种新型传感器。MEMS技术是建立在微米/纳米基础之上的，主要优势在于体积小、大规模量产后成本下降快，在加速度传感器领域有着不可替代的优势，市场前景广阔。根据ICInsight报告，2007年至2012年间，基于MEMS的半导体传感器和制动器的销售额达到19%的年均复合增长率（CAGR），与2007年的41亿美元相比，2012年实现了97亿美元的年销售额。
MEMS传感器原来主要采用固体摆原理，zui近向气体摆发展，可以用于制作低，中，高精度的水平/倾角传感器。在实际应用中，低精度MEMS传感器由于体积小、成本低，在市场上占据越来越大的份额。但是中等精度的MEMS传感器制作成本较高，市场竞争力大打折扣；而高精度MEMS传感器制作难度*，成本大幅上升，基本不具备市场竞争力。同时，MEMS传感器基于微电子机械加工技术，其核心技术的竞争比较激烈，加工设备主要依赖进口，投资规模巨大，而且其在中、高精度的水平/倾角传感器生产成本居高不下，不利于在传感网中大量普及应用。
目前国内生产MEMS传感器的代表企业是无锡美新公司，他们生产的MXD2020E传感器zui高精度可以达到0.05度，但是要求配套电路作温度补偿，致使工艺难度大大增加。MXD2020E自身虽然只要每只两美元左右，但是加上外围电路，精度为0.1度的传感器售价达到每套25元；精度为0.05度的售价达到每套100元以上；更高精度的传感器生产难度更大，成本也直线上升，加上它的高功耗，市场推广受到一定制约。业界公司瑞士WYLER公司的水平/倾角传感器也是采用固体摆原理制作的，可以达到很高的测量精度，分辨率可以达到0.001mm/m，动态特性也很好，但是价格昂贵，耗电量也高。
沪沁：/
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