主要特征：l 桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，为整机提供了更稳定可靠的精度基础，并确保高速运行时，振动对精度的影响小l 柔性同步带系统，兼顾了柔性啮合与刚性轴向传动的优点，确保高加速度时定位精度，从而提高运动的平稳性l 陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度l Z向采用了可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性l 标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差l Y向采用整体式燕尾导轨，提高了机器的精度和重复性l 中心驱动系统减少偏摆和扭转，Y向光栅安装于工作台的*，阿贝误差小l 机器框架采用花岗岩材料构成，厚重且稳定，显着提高了整机的刚性，并有效地减少了振动的影响l 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB认证。

规格型号与技术指标:

型号Rumba686Rumba8106Rumba10128行程（mm）X轴6008001000Y轴80010001200Z轴600600800空间尺寸（mm）Dx103612361436平台（mm）Ph350350350Py180020002200支撑（mm）Sx7408701000Sy1480530580Sy2640720790外形尺寸（mm）Lx176619762176Ly200522052405Lz308630863086承重（kg）400400600机器重量（kg）427649805637MPEe（μm）1.4+L/4501.5+L/3501.7+L/350MPEp（μm）1.81.81.8光栅尺分辨率（μm）0.039空间移动速度（mm/s）520空间移动加速度(mm/s2)1039流量/供气压力0.1m3min,>0.7MPa注：工作环境为温度（20±1）℃, 湿度为25%-75%