扩散泵是一种常用于高真空系统中的泵。采用某些技术措施获得超高真空，方法如下：

（1）使用性能良好的扩散泵油。 扩散油泵上泵油的极限压力影响很大。 例如，如果使用3号扩散泵油，其极限压力只能达到10-5 Pa。使用275硅油时，其极限压力可以达到10-Pa，极限压力增加两个数量级。 数量级。 其次，泵送气体的分压也随着泵油的不同而变化，这是泵油成分的影响。 为了使用油扩散泵实现超高真空，必须选择性能良好的扩散泵油。 扩散泵油的要求是：泵油的相对分子量应大，室温下的蒸气压应低，热稳定性和抗氧化性应好，凝固点和低温粘度应低 ，无毒，耐腐蚀，化学性低。
  当前，高真空油扩散泵通常使用3号扩散泵油，超高真空使用硅油，并且需要不包含烃的超高真空系统。 扩散泵使用氟油。 

（2）采用合理的烘烤工艺。 使用油扩散泵获得用于高温烘烤的超高真空系统。 目的是降低材料的除气率。 该材料可以在大气压下吸收和吸收一些气体，在真空中会解吸，从而使气体缓慢释放。
  为了促进解吸，使用了不同的烘焙材料，并且烘焙温度不同。 原理是温度更高，气体可以被加速。 但是，考虑到材料是否可以承受高温，必须适当选择烘烤温度。  。 通常，金属材料（例如不锈钢）的烘烤温度为250〜450℃，非金属材料的烘烤温度为80〜100℃，烘烤时间超过4-8。 *的真空烘烤时间超过24小时。 表4-37和表4-39中显示了典型的金属油扩散泵系统（烘烤后）的性能以及金属油扩散泵超高真空系统中的其余气体成分。
  （3）添加一个冷阱装置，以防止泵油回流并迁移。 泵油通过泵的入口流到被泵送的容器的现象称为回流。 油分子沿着容器壁移动到泵送容器壁中的现象称为迁移。 回流和回流都会影响真空系统的极限压力。 冷阱广泛用于超高真空系统中，它安装在泵的入口和泵的容器之间（也称为真空室），不仅可以有效地捕获扩散泵的回流，还可以捕获蒸汽 和部分裂解物。 来自真空室的蒸气。 配备各种冷阱的超高真空系统。 经过充分的高温烘烤和脱气后，可获得10-8〜10-10Pa（或更高）的超高真空。 普通的冷阱是液氮冷阱，因为在液氮温度下，泵油的蒸气压远低于超高压。 经过充分的高温烘烤和脱气后，可获得10-8〜10-10Pa（或更高）。  ）超高真空。