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高清面板的研磨抛光工艺

时间:2016-10-28      阅读:125

在当今智能手机、平面电脑快速更新的时代,高清显示面板的要求也不断提高,而铝硅酸盐玻璃经化学强化后具有高强度、抗冲击和抗表面划伤等优良力学性能,在高清显示面板玻璃基板中被广泛运用。而为了提高显示效果和使用寿命,表面超精密加工是获得高质量表面zui有效手段之一。在表面超精密加工中,研磨抛光设备是占有比较大的作用的。
     化学机械抛光技术的概念是由Monsanto在1965年提出的。它是根据磨损中的“软磨硬”机理,即用相对较软的材料来磨损较硬材料,对其进行抛光以实现高质量的表面效果。在相应的抛光压力、抛光液、主轴转速等试验条件下,工件在主轴转速的作用下由工件和抛光垫之间摩擦力相对自转运动,通过微纳米颗粒的切削作用与抛光液中氧化剂的腐蚀作用有机地结合,使得被抛光的工件表面形成超光滑表面。
     固结磨料研磨垫是经过固化成型工艺将磨粒均匀分散在树脂基体中制备而成。不同的工艺参数对高清显示面板玻璃加工效果的影响不同;从材料去除率和表面粗糙度也可以衡量其加工效果并对其进行激励分析和工艺优化,为了降低表面粗糙度和提高平面度,为zui后一道抛光加工工序准备。
     研磨垫是直接参与研磨加工并储存抛光液将其送到整个加工区域,保证研磨环境和承受载荷等作用,因此合理选择制备优良的抛光垫对zui后的研磨效果起至关重要的作用。
     研磨抛光机加工中主要的夹持方法有石蜡粘接、真空吸附、静电吸盘、紫外光固化等。抛光结束后,还是用电炉加热的方法将石蜡融化,然后用镊子将工件取下,先降温后再放入超声清洗机中清洗,防止工件突然遇冷发生碎裂。
     在平面研磨机加工中,对研磨速率及表面粗糙度影响因素较多,本实验主要研究研磨压力、工作台转速、研磨时间和研磨液浓度对材料去除率和表面质量的影响。而为了准确地得到工件表面的去除速率,将传统的单位时间厚度变化公式转化为质量变化公式,只需称量面板玻璃实验前后的质量以及研磨前的厚度,便可得到去

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