自动椭圆偏振测厚仪，椭圆偏振测厚仪
自动椭圆偏振测厚仪特点：
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
规格与主要技术指标：
测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围：1-10
测量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盘刻度：每格1度 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步进角：0.014°/步 偏振器方位角范围：0°- 180°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
光学中心高度：80mm
成套性：
主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）
主机重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
