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电子工业气体氧化氩氮分析氦离子气相色谱仪
电子工业气体氧化氩氮分析氦离子气相色谱仪
分析氦离子气相色谱仪,高纯中的痕量杂质分析采用DID氦离子气相色谱仪技术提供准确的结果,并满足易于操作和维护的需求。因交互式触摸屏采用了易用界面作为指导,所以使培训变得简单。这也使得操作人员应用自如,并保普瑞GC9280氦离子气相色谱仪在任何时候都可为您提供好的保障.
分析氦离子色谱仪参考:GB/T 14600-2009 电子工业用气体现行标准
项目 | 指标 | ||
(N2O)(体积分数)/10-2 | ≥ | 99.9994 | 99.997 |
二氧化碳(CO2)(体积分数)/10-6 | < | 0.5 | 2 |
一氧化碳(CO)(体积分数)/10-6 | < | 0.1 | 1 |
烃C1~C5(以甲烷计)(体积分数)/10-6 | < | 0.1 | 1 |
氮(N2)(体积分数)(N2)/10-6 | < | 3 | 10 |
氧(O2)(体积分数)/10-6 | < | 0.5 | 2 |
水分(H2O)(体积分数)/10-6 | < | 1 | 3 |
氨(NH3)(体积分数)/10-6 | < | 供需双方商定 | 5 |
一氧化氮(NO)(体积分数)/10-6 | < | 供需双方商定 | 1 |
二氧化氮(NO2)(体积分数)/10-6 | < | 供需双方商定 | 1 |
杂质总合理(体积分数)/10-6 | ≤ | 5.5 | 26 |