氦离子化气相色谱仪分析空分特种气、电子气

氦离子化气相色谱仪分析空分特种气、电子气

因应上述问题而开发，产品采用工业设计，配备拥有超高灵敏度的脉冲放电氦离子化检测器，将待检组分的响应提升至ng/g级（10-9）；采用超低泄露率的卡套或VCR接头连接带有吹扫保护气路的进样阀，将样品与空气隔离，避免空气污染；真空负压取样系统大大减少样品的置换次数的同时，也可以避免电子工业用气体中的Sicl4、HF、SiH4遇水的辐射性及结晶；EP级管路及经特殊处理的色谱柱担体等技术的应用，避免了样品吸附对分析的影响。

采用由多个吹扫型进样阀及多根色谱柱组成的多阀多柱的中心切割与反吹分离技术，通过色谱工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，一台仪器就可以实现对高纯氮、高纯氩、高纯氧、高纯氦、高纯氢、高纯二氧化碳、氪气、氙气、氖气等空分高纯气体的分析；也可以针对三氟化氮、六氟化硫、六氟化钨、三氯化硼、磷硼砷硅锗烷等电子工业用气体制定特定的分析方案。

典型分析：

　　一、空分(ASU)行业

　　1、高纯O2、N2、Ar中杂质（H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2）分析；

　　2、液O2液Air中烃类物质(C2H2、N2O、THC、C1-C4)分析；

　　3、稀有气体He、Ne、Kr、Xe中杂质(N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6)分析；

　　二、特种气、电子气行业

　　1、H2中杂质(N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4）分析,

　　2、腐蚀性气体：Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6等

　　3、卤化物：C3F8、C4F8、SF6、NF3、CF4、C2F6等

　　4、CO2、H2、He

　　5、氦离子化检测器（PDHID）

　　检测器是一个无破坏性（0.01～0.1%电离）和高灵敏的非放射性检测器。其检测限在皮克数量级范围，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应。

　　He+e-®He++2e-

　　®He2*

　　®2He+hv(12-21eV)

　　+A®A++e-

　　脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）优点：

　　1、基线及响应稳定、检测器寿命长；

　　2、同一PDHID可运行不同的模式；

　　3、高灵敏度；

　　4、宽线性范围；

　　5、不用放射性物质,不用氢气；

　　6、工作温度可达400℃；

　　7、对样品没破坏性；

　　8、结构结实,不用特殊维护。