DIENER 等离子清洗机
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苏州和谐电子技术有限公司
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适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
气体供应: 流量控制型 ; 双气体通道
射频发生器: 40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 电脑控制
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